Каталог
Зондовые нанотехнологии в электронике
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.
Неволин В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. - Москва : Техносфера, 2014. - 176 с. - ISBN 978-5-94836-382-0. - URL: http://188.93.208.91/bookshelf/339866/reading (дата обращения: 26.12.2025). - Текст: электронный.