Главная Каталог Среднее профессиональное образование (возрастное ограничение 14+) Электроника, радио-, электро- и схемотехника Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие

Каталог

Категории

Остаться в выбранном разделе

Назад к каталогу

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие

ISBN 978-985-895-032-3

Авторы:

Камлюк В. С., Камлюк Д. В.

Тип издания:

Учебное пособие

Издательство:

Минск: РИПО

Год:

2022

Количество страниц:

266

Аннотация

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.
Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Камлюк В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В.С. Камлюк, Д.В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 266 с. - ISBN 978-985-895-032-3. - URL: http://188.93.208.91/bookshelf/397300/reading (дата обращения: 24.07.2025). - Текст: электронный.