8 (812) 320-06-69

Каталог

Назад к каталогу

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие

Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие ISBN 978-985-895-032-3
ISBN 978-985-895-032-3
Авторы: 
Камлюк В. С., Камлюк Д. В.
Тип издания: 
Учебное пособие
Издательство: 
Минск: РИПО
Год: 
2022
Количество страниц: 
266
Аннотация

В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники.
Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».

Библиографическое описание Скопировать библиографическое описание

Камлюк В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В.С. Камлюк, Д.В. Камлюк. - Минск : РИПО, 2022. - 266 с. - ISBN 978-985-895-032-3. - URL: http://188.93.208.91/bookshelf/397300/reading (дата обращения: 24.07.2025). - Текст: электронный.